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溶液pH、溶液温度及蚀刻时间对铝合金丝纹蚀刻的影响

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2017-04-10 14:51:02
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西安交通大学韩卫忠团队的最新研究中,制造了具有交替FeAl/FeAl2层且每层厚度范围从2.5μm至259nm的轻质共析Fe-Al合金。

  溶液温度对丝纹蚀刻的影响与溶液中各组分的浓度、pH值密切相关,当其他条件都在工艺范围之内时,溶液温度宜控制在25~30℃之间。温度低不利于蚀刻的进行,容易在板面形成麻面,温度高虽然加快了蚀刻速率,但同样容易使丝纹的粗糙度增加,当过氧化氢浓度偏高时宜适当提高温度;反之则应适当降低温度。

  在新配的溶液中,温度为27℃左右、pH=3左右时,蚀刻50s即有明显的丝纹效果,再延长时间,丝纹效果略有增加,随后即保持基本不变。对于使用一段时间的溶液,时间应适当延长,当时间超过120s仍不能获得良好的丝纹效果时,说明溶液已老化,这时可补充部分新液,如板面粗糙度增加,则应更换溶液。

  除溶液中氟化氢铵浓度和过氧化氢浓度对丝纹蚀刻有很大的影响以外,溶液pH值对丝纹的影响同样重要,对于丝纹蚀刻溶液pH中值为3,当低于3时,虽然有利于蚀刻的进行但过低的pH值,一则使丝纹的粗糙度增加,丝纹模糊;二则使丝纹的光泽性降低发暗;三则对钛的蚀刻加重。当pH值大于3时,虽然对钛的蚀刻减少,丝纹的光度提高,但过高的pH值易使蚀刻面呈现“麻点”现象,板面砂化现象严重而使丝纹变得模糊不清。溶液pH值一般控制在2.5~3.5之间,当溶液温度较低或过氧化氢浓度较高时,pH值宜选择下限,反之则选择上限,新配溶液一般都可以不进行pH值调节而直接使用。

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